Enkonduko pri Plasma Purigilo

Plasmo, kiel solidoj, likvaĵoj, kaj gasoj, estas materiostato, ankaŭ konata kiel la kvara stato de materio. Plasmo formiĝas kiam sufiĉa energio estas aplikata al gaso por jonigi ĝin. La "aktivaj" komponentoj de plasmo inkludas jonojn, elektronojn, reaktivajn radikalulojn, ekscititajn nuklidojn (metastabilajn ŝtatojn), kaj fotonojn. Plasmaj surfacaj traktadsistemoj utiligas la trajtojn de tiuj aktivaj komponentoj por trakti specimenajn surfacojn, atingante celojn kiel ekzemple purigado, modifo kaj fotorezista cindro.