Plasma Purigilo Strukturo

La strukturo de plasmopurigilo konsistas el tri ĉefaj komponentoj: la kontrolunuo, la vakuoĉambro, kaj la vakupumpilo. Ni diskutu ĉi tiujn tri komponantojn:
1. Kontrolunuo
Plasmaj purigiloj uzataj en Ĉinio, inkluzive de importitaj, havas kontrolunuojn kun kvar ĉefaj tipoj: duon-aŭtomata, plene aŭtomata, komputila-regata kaj LCD-tuŝekrano.
La kontrolunuo estas plue dividita en du ĉefajn partojn:
1) Elektroprovizo: Estas tri ĉefaj elektroprovizofrekvencoj: 40 kHz, 13,56 MHz, kaj 2,45 GHz. La elektroprovizo de 13,56 MHz postulas elektran adaptilon.
2) Sistema Kontrola Unuo: Estas tri tipoj: prem-butona kontrolo (duon-aŭtomata kaj plene aŭtomata), komputila kontrolo kaj PLC-kontrolo (LCD-tuŝekrano).
2. Vakua Ĉambro:
Vakuoĉambroj estas ĉefe faritaj el du materialoj:
1) Neoksidebla ŝtalo malplena ĉambro.
2) Kvarca ĉambro.
3. Malplena Pumpilo:
Vakupumpiloj estas dividitaj en du tipojn:
1) Seka pumpilo.
2) Oleopumpilo.